nb dotiertes srtio3 nb:srtio3 Hersteller von Einkristallsubstraten aus China

Oberflächengüte: Single Throw oder Double Throw, ra <5Å;

Standardorientierung: <100> ± 0.5 o;

Standardgröße: 10x10x0.5mm, 5x5x0.5 mm.

Hinweis: Je nach Kundenwunsch außergewöhnliche Größe und Ausrichtung

wichtigsten Leistungsparameter

nb:srtio3-Klasse

A

B

C

D

nb-Konzentration (wt%)

1.0

0.7

0.5 _

0.1

Widerstand Ohm-cm

0.0035

0.0070

0.05

0.08

Mobilität cm2/vs

9.0

8.5

8.5

6.5

Merkmale

nb:srtio3 hat eine ähnliche Struktur wie srtio3-Einkristall,, aber NSTO hat Leitfähigkeit . der spezifische Widerstandsbereich variiert von 0.1 bis 0.001 Gew.-% . leitfähige Einkristallsubstrate bieten dünne Elektroden Filme und Geräte.

Größe

10x3, 10x5, 10x10, 15x15,, 20x15, 20x20,

Ф15, Ф20, Ф1″,

Dicke

0.5mm, 1.0mm

Polieren

einseitig oder doppelseitig

Kristallorientierung

<100> <110> <111>

Genauigkeit der Kristallebenenorientierung:

±0.5°

Genauigkeit der Kantenorientierung:

2° (Sonderanforderungen können bis 1° reichen)

abgeschrägte Waffel

je nach Anforderung, können Wafer bearbeitet werden, deren kantenorientierte Kristallebenen in einem bestimmten Winkel (Tiltwinkel 1°-45°) geneigt sind

Ra:

≤5Å (5µm×5µm)

Paket

Reinraum der Klasse 100, Reinraum der Klasse 1000