Art.-Nr:
GS-T011Zahlung:
L/C、 Western Union、 D/P、 T/TProduktursprung:
Anhui, Chinamaximale Größe:
CustomizationOrientierung:
Paket:
100 clean bag,1000 exactly clean bagProduktdetail
Spezifikation
Prozessablauf
Verpackung
Transport
Testbericht
FAQ
Titan-Target-Material, Titan-Symbol Ti, Ordnungszahl 22, Dichte 4,454 g/cm3, physikalische Eigenschaften: Schmelzpunkt 1668°C, Siedepunkt 3262°C, spezifische Wärmekapazität 0,52 (J / (Kg·K), Verdampfungswärme 421 (KJ/Mol), die Schmelzwärme beträgt 15,45 (KJ/Mol) und die Leitfähigkeit beträgt 0,0234 (106/cm) Da die Kosten für hochreines Titan ziemlich teuer sind und das Anwendungsgebiet extrem ist Limited, wird es hauptsächlich als Gettermaterial in Halbleitermaterialien und Ultrahochvakuumgeräten verwendet.
Hochreines Titan hat Gettereigenschaften, insbesondere Wasserstoff, CH4, Co2-Gas, sodass es in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumsystemen weit verbreitet verwendet werden kann. Bei Verwendung von hochreinem Titan-Sputtern zur Herstellung von LSI-, VLSI- und ULSI-Leitungsnetzwerken können diese integrierten Teile außergewöhnlich leicht, dünn, klein und dicht in Schaltungen werden. Targets aus hochreinem Titan können auch als Barrieremetallmaterialien verwendet werden. Die folgenden Bilder sind zwei typische mikroskopische metallographische Inspektionsbilder von Titan-Sputtertargets, die durchschnittliche Partikelgröße beträgt weniger als 50 um.
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