Maßgeschneidertes Lithium-Aluminat-Kristall (LiAlO2) Einkristall-Substrat

Die Gitterfehlanpassungsrate zwischen Lithiumaluminat-Einkristall und Galliumnitrid ist sehr klein (1,4% für Lithiumaluminat), was es zu einem hochwertigen Substrat für Galliumnitrid-Dünnschichten macht.
  • Art.-Nr:

    GS-C022
  • Zahlung:

    L/C、 Western Union、 D/P、 T/T
  • Produktursprung:

    Anhui, China
  • maximale Größe:

    Dia50mm
  • Orientierung:

    <001>、<110>、<111>
  • Paket:

    100 clean bag,1000 exactly clean bag
  • Produktdetail

  • Prozessablauf

  • Verpackung

  • Transport

  • FAQ

Dünnschichtsubstrat

Die Gitterfehlanpassungsrate zwischen Lithiumaluminat-Einkristall und Galliumnitrid ist sehr klein (1,4% für Lithiumaluminat), was es zu einem hochwertigen Substrat für Galliumnitrid-Dünnschichten macht.
Hauptleistungsparameter
Kristallstruktur
Quartett
Gitterkonstante
a=5.17 A c=6.26 A
Schmelzpunkt (℃)
1900
Dichte
2.62 (g/cm3)
Härte
7.5 (mohs)
Fehlanpassungsrate mit GaN<001>
1.4%
Größe
10x3, 10x5, 10x10, 15x15,, 20x15, 20x20,
Ф15, Ф20, Ф1″, Ф2″, Ф2.6â € ³
Dicke
0,5 mm, 1,0 mm
Polieren
Einseitig oder doppelseitig
Kristallorientierung
μœ100ïμž ïμœ001>
Genauigkeit der Kristallebenenausrichtung:
±0.5°
Genauigkeit der Kantenausrichtung:
2°(Besondere Anforderungen können innerhalb von 1° erreicht werden)
Bevel-Wafer
Je nach Anforderung können Wafer mit kantenorientierten Kristallebenen, die unter einem bestimmten Winkel (Inklinationswinkel 1°-45°) geneigt sind, bearbeitet werden
Ra:
≤5Ã (5µm×5µm)
Paket
Klasse 100 saubere Tasche, Klasse 1000 Super-Reinraum

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