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Kristallanlage Preis Saphir Al2O3 Einkristallsubstrat

Al2O3 substrate
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Kristallanlage Preis Saphir Al2O3 Einkristallsubstrat

Saphir-Substrate sind die beliebten Substrate für III-V-Nitride,-Supraleiter und magnetische Epi-Filme aufgrund weniger fehlangepasster Gitter und stabiler chemischer und physikalischer Eigenschaften

  • Art.-Nr:

    GS-C010

  • Zahlung:

    L/C、 Western Union、 D/P、 T/T

  • Produktursprung:

    Anhui, China

  • maximale Größe:

    Dia300mm

  • Orientierung:

    <0001>、<1-110>、<11-20>

  • Paket:

    100 clean bag，1000 exactly clean bag
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  • Produktdetail

  • Spezifikation

  • Prozessablauf

  • Verpackung

  • Transport

  • FAQ

Merkmale:

  • Saphir-Substrat ist das beliebte Substrat für III-V-Nitride, Supraleiter und magnetische Epi-Filme aufgrund weniger fehlangepasster Gitter und stabiler chemischer und physikalischer Eigenschaften.
  • Ausrichtungstoleranz: +/-0.5 Grad. Ausrichtung der C-Ebene
  • Polierte Oberfläche: Die Substratoberfläche wird durch ein spezielles CMP-Verfahren mit ra < 5 A EPI-poliert
  • 1 Seite poliert
  • Paket: Jeder Wafer wird in einem Reinraum der Klasse 1000 mit einer Plastiktüte der Klasse 100 mit Waferbehälter verpackt
  • Vorsichtsmaßnahme: Der Saphirwafer der R-Ebene lässt sich im Vergleich zur C-Ebene. leicht spalten. Bitte behandeln Sie ihn mit Vorsicht

typische Eigenschaften:

  • Kristallstruktur: hexagonal. au003d4.758 Å cu003d12.99 Å
  • Schmelzpunkt: 2040 Grad c
  • Dichte: 3.97 Gramm/cm2
  • Wachstumstechnik: cz
  • Kristallreinheit: >99.99%
  • Härte: 9 (Mohs)
  • Wärmeausdehnung: 7.5x10-6 (/ oc)
  • Wärmeleitfähigkeit: 46.06 @ 0 oc, 25.12 @ 100 oc, 12.56 @ 400 oc ( w/(m.k) )
  • Dielektrizitätskonstante: ~ 9.4 @ 300 K auf der A-Achse ~ 11 . 58 @ 300 K auf der C-Achse
  • Verlustfaktor bei 10 GHz: < 2 x 10-5 auf der A-Achse, < 5 x 10-5 auf der C-Achse

Saphir (Saphir, auch bekannt als weißer Edelstein, Summenformel al2o3) Einkristall ist ein ausgezeichnetes multifunktionales Material. es hat eine hohe Temperaturbeständigkeit, eine gute Wärmeleitfähigkeit, eine hohe Härte, Infrarottransparenz und gute chemische Stabilität . weit verbreitet in vielen Bereichen der Industrie , Verteidigung und wissenschaftliche Forschung (wie Hochtemperatur-Infrarotfenster , usw. .) . gleichzeitig , ist es auch weit verbreitet verwendetes Einkristall-Substratmaterial,, das das bevorzugte Substrat für die aktuellen blauen, violetten, weißen Leuchtdioden (LED) und blauen Laser (LD)-Industrien ist (muss einen Galliumnitridfilm auf einem Saphirsubstrat epitaktisch aufbringen) , ist auch ein wichtiges supraleitendes Dünnfilmsubstrat. zusätzlich zur Herstellung von y-Serien, la-Serien und anderen Hochtemperatur-Supraleiterfilmen, kann es auch verwendet werden, um neue praktische mgb2 ( Magnesiumdiborid) supraleitende Filme (normalerweise werden Einkristallsubstrate chemisch korrodiert bei der Produktion von mgb2-Filmen. ).
wichtigsten Leistungsparameter
Kristallsystem
sechseckiges System
Einheitszellenkonstante
au003d4.748Å cu003d12.97Å
Dichte
3.98 (g/cm3)
Schmelzpunkt
2040℃
Mohs Härte
9
Wärmeausdehnungskoeffizient
7.5 (x10-6 / oc)
Wärmeleitfähigkeit (cal/Grad cm sek)
⊥c
//C
23℃
0.055
26℃ 0.060
77℃
0.040
70℃ 0.041
Dielektrizitätskonstante
~ 9.4 @ 300K auf der A-Achse ~ 11.58@ 300K auf der C-Achse
Kristallorientierung
ein Flugzeug
<11-20>
2.379a
R-Flugzeug
<1-102>
1.740a
m-Ebene
<10-10>
1.375a
c-Ebene
<0001>
2.165a
Orientierungstoleranz
±0.5°
Regelmaße und Toleranzen
10×3, 10×5, 10×10, 15×15, 20×15, 20×20,
herkömmliche Dicke und Toleranz
0.5mm, 1.0mm
Polieren
einseitig oder doppelseitig
Oberflächenrauheit
ra<5Å (5×5μm)
Paket
Reinraum der Klasse 100, Reinraum der Klasse 1000
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wir sind fabrik.
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